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产品概述：
配备划时代意义的高精度检出控制系统∶可检出微小形状。·
可测量最小孔径10μm/最大深度300μm的孔内形状。
高分辨率∶ 10nm 可实现低测定压∶ 1pN以下。
采用高弹性光纤维测针。
可测量深孔的内径/外径/深度、沟槽的内宽/外宽/深度、壁面。
具有解析功能∶ 真圆度、圆柱度、直径、段差、槽宽、直角度、粗糙度等多种解析功能。
可通过软件编程，实现自动测量。
搭载测针自动切换装置。
FP-Lab产品参数：
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最小测量孔径 |
φ10μm～ |
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最大测量长度 |
300×300×300μm |
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测量分辨率 |
10nm |
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测定力 |
0.1μm以下 |
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移动轴（X，Y，Z） |
50×50×52mm |
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最大样品尺寸 |
φ160mm t=50mm |
