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NanoFocus | 激光共聚焦3D形貌测量仪
NanoFocus | 激光共聚焦3D形貌测量仪
型号:
是否进口:进口
产品概述:
● 紧凑型3D量测设备。
● 安装移动迅速便捷。
● 适用于所有基板类型。
● 多样化的应用选择。
● 工业标准数据端口。
相关介绍
NanoFocus桌面轮廓仪
分辨率
X & Y轴: 0.5-2.5um;
Z轴:0.016 um;
取样率
20000 Hz
工作距离
8 mm
扫描宽度
630 um
高度范围
300 um – 400 um
机台尺寸
300mm x 200mm (可定制)
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