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非接触式表面形貌测量装置
NanoFocus | 激光共聚焦3D形貌测量仪

NanoFocus | 激光共聚焦3D形貌测量仪

型号:

是否进口:进口

产品概述:

● 紧凑型3D量测设备。

 

● 安装移动迅速便捷。

 

● 适用于所有基板类型。

 

● 多样化的应用选择。

 

● 工业标准数据端口。

 

相关介绍

NanoFocus桌面轮廓仪

 

分辨率 X & Y轴: 0.5-2.5um;
Z轴:0.016 um;
取样率 20000 Hz
工作距离 8 mm
扫描宽度 630 um
高度范围 300 um – 400 um
机台尺寸 300mm x 200mm (可定制)